池华琼老公 池华琼老公 ,孙红雷个人资料 孙红雷个人资料 ,黄宗泽的个人资料简介 黄宗泽的个人资料简介

发布日期:2021年05月14日
长短寸测量设备 —— 长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量


SOM245/10

SOM255/10

SOM200系列测量设备主要应用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工艺。其中,SOM200/10系列为长寸测量设备,又称为长短寸测量设备或基板变形检测设备或精密测长机,主要应用于长寸测量,兼容短寸测量,可选配光刻胶膜厚测量;SOM200/10A系列为关键尺寸测量设备,主要应用于短寸测量。该系列设备沿用高分辨率曝光机相关技术,可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各种基板的测量。
   产品特征

● 多功能测量

● 高测量精度

● 高测量效率

● 高效的温度控制和高效洁净系统

   主要技术参数
池华琼老公 池华琼老公 ,孙红雷个人资料 孙红雷个人资料 ,黄宗泽的个人资料简介 黄宗泽的个人资料简介

 型号

SOM245

 SOM255

 SOM260

基板尺寸

730mm×920mm

1100mm×1300mm

1500mm×1850mm

1300mm×1500mm

 TP测量重复性

300nm

 300nm

300nm

 TP测量复现性

400nm

500nm

500nm

CD/OL测量重复性

30nm

30nm

30nm

CD/OL测量复现性

40nm

40nm

40nm

Tact Time

5 min

6 min

7 min